https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=83e7993e-9f0e-4c36-9f0c-7090fa4a7dc9
Rechercher Fairchild, S; Rechercher Cahay, M; Rechercher Grazulis, L; Rechercher Garre, K; Rechercher Wu, X; Rechercher Lockwood, David
Journal of Vacuum Science & Technology B, 2008, Volume : 26, Numéro : 2
Article de périodique (revue)
Texte intégral en ligne