https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=124c559a-94e1-4397-bb76-a1c5c50b3b12
Rechercher Wu, X; Rechercher Landheer, D; Rechercher Graham, M. J; Rechercher Chen, H. -W; Rechercher Huang, T. -Y; Rechercher Chao, T. -S
Journal of Crystal Growth, avril 2003, Volume : 250, Numéro : 3-4
The structure and thermal stability of ZrO2 films grown on Si (1 0 0) substrates by metalorganic chemical vapor deposition have been studied by high-resolution...
Article de périodique (revue)
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