Thin films composed of silicon square-spirals in a square-lattice array are fabricated using glancing angle deposition and thermally oxidized at 600 °C, 700...
Journal of Vacuum Science & Technology B, American Vacuum Society, 31 octobre 1999, Volume : 17, Numéro : 6
We use a glancing-angle deposition technique to produce regular lattices of submicrometer pillars and helices with a two-dimensional lattice constant below 1...
Journal of Vacuum Science & Technology A, AVS, 2000, Volume : 18, Numéro : 4
An advanced deposition technique known as glancing angle deposition (GLAD) [K. Robbie, J. C. Sit, and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 1115 (1998); K....
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