https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=8ff9142d-d9b5-4d69-a750-76ca6b5041c0
Rechercher Aslan, Bulent; Rechercher Liu, Hui; Rechercher Gupta, J. A; Rechercher Wasilewski, Zbigniew; Rechercher Aers, Geoffrey; Rechercher Raymond, S; Rechercher Buchananm, M
Journal of Vacuum Science and Technology A, 2006, Volume : 24, Numéro : 3
Article de périodique (revue)