https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=fd089cb8-b17b-429a-a44b-35dc78696c60
Rechercher Bardwell, J. A; Rechercher Foulds, I. G; Rechercher Webb, J. B; Rechercher Tang, H; Rechercher Fraser, J; Rechercher Moisa, S; Rechercher Rolfe, S. J
Journal of Electronic Materials, 11 octobre 1999, Volume : 28, Numéro : 10
A simple UV photo-enhanced wet etch has been developed for GaN. Unlike photoelectrochemical wet etching, this technique does not require an electrical contact...
Article de périodique (revue)