https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=4b51ec8b-5fdc-4594-8c0a-0d4488f48941
Rechercher Arafin, Shamsul; Rechercher Mcfadden, Anthony P; Rechercher Paul, Banaful; Rechercher Hasan, Syed M. N; Rechercher Gupta, James A; Rechercher Palmstrøm, Chris J; Rechercher Coldren, Larry A
Optical Materials Express, Optical Society of America, 1 avril 2019, Volume : 9, Numéro : 4
We report on the dry etch process parameters and the associated etch rates for target and mask materials, as well as surface roughness in an inductively...
Article de périodique (revue)
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