https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=1d20c6c6-086a-4b23-8099-e1362ef6caca
Rechercher Allameh, Mehdi; Rechercher Zhou, Yu; Rechercher Chen, Tao; Rechercher Chrusch, Dwayne; Rechercher Park, Byoungyoul; Rechercher Shafai, Cyrus
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP, 16 février 2023, Volume : 33, Numéro : 3
A tri-electrode electrostatic actuator with one moving microelectromechanical systems (MEMS) electrode and two stationary electrodes (tri-electrode actuator...
Article de périodique (revue)
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