https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=15267506-a848-4a09-9b0e-04961d0d197e
Rechercher Taschuk, M. T; Rechercher Harris, K. D; Rechercher Smetaniuk, D. P; Rechercher Brett, M. J
Sensors and Actuators B: Chemical, 20 février 2012, Volume : 162, Numéro : 1
We have demonstrated direct surface modification of nanocolumn relative humidity sensors with conformal coatings deposited by atomic layer deposition (ALD)....
Article de périodique (revue)