https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=4e2a3d2c-bd7f-4607-94c3-56d941eb9058
Rechercher Rashidi, Mohammad; Rechercher Vine, Wyatt; Rechercher Burgess, Jacob A.J; Rechercher Taucer, Marco; Rechercher Achal, Roshan; Rechercher Pitters, Jason L; Rechercher Loth, Sebastian; Rechercher Wolkow, Robert A
Journal of Visualized Experiments, Journal of Visualized Experiments, 19 janvier 2018, Numéro : 131
The miniaturization of semiconductor devices to scales where small numbers of dopants can control device properties requires the development of new techniques...
Article de périodique (revue)