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Rechercher Sorge, J. B; Rechercher Taschuk, M. T; Rechercher Wakefield, N. G; Rechercher Sit, J. C; Rechercher Brett, M. J
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, 22 février 2012, Volume : 30, Numéro : 2
Glancing angle deposition (GLAD) is a thin film deposition technique capable of fabricating columnar architectures such as posts, helices, and chevrons with...
Article de périodique (revue)