https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=4980ac5f-1212-416c-bf01-b2425458ec48
Rechercher Yap, K. P; Rechercher Lamontagne, Boris; Rechercher Delâge, André; Rechercher Janz, Siegfried; Rechercher Bogdanov, Alexei; Rechercher Picard, Michel; Rechercher Post, Edith; Rechercher Chow-Chong, Phillip; Rechercher Malloy, Mark; Rechercher Roth, Daniel; Rechercher Marshall, Paul; Rechercher Liu, K. Y; Rechercher Syrett, B
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2006, Volume : 24, Numéro : 3
Article de périodique (revue)