https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=70413f6f-4a13-44ba-8a14-65d5553136b6
Rechercher Dalacu, Dan; Rechercher Frederick, S; Rechercher Lapointe, J; Rechercher Poole, Philip; Rechercher Aers, Geoffrey; Rechercher Williams, Robin
Journal of Vacuum Science and Technology A, 2006, Volume : 24, Numéro : 3
Article de périodique (revue)